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发明名称 ION IMPLANTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0786594(A) 申请公布日期 1995.03.31
申请号 JP19930189018 申请日期 1993.06.30
申请人 SONY CORP 发明人 SUGIMURA SHINICHI;IIDA HIDETOSHI
分类号 H01L21/265;H01L21/266;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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