| 发明名称 |
POLYCRYSTALLINE SILICON FILM AND PRODUCTION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0781919(A) |
申请公布日期 |
1995.03.28 |
| 申请号 |
JP19940069511 |
申请日期 |
1994.04.07 |
| 申请人 |
TORAY IND INC |
发明人 |
AKAMATSU TAKAYOSHI;NONAKA TOSHINAKA;NONAKA HARUKI |
| 分类号 |
B01J19/08;C01B33/02;(IPC1-7):C01B33/02 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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