发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND LAYOUT THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0778874(A) 申请公布日期 1995.03.20
申请号 JP19930173806 申请日期 1993.06.21
申请人 HITACHI LTD 发明人 ISOMURA SATORU;SHIMIZU ATSUSHI;HIGETA KEIICHI;KOBAYASHI TORU;YAMADA TAKEO;ITO YUKO;MIYAZAWA KENGO
分类号 H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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