| 发明名称 |
ION GENERATING METHOD AND DEVICE, AND ELEMENT ANALIZING METHOD AND DEVICE USING ION GENERATING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0765776(A) |
申请公布日期 |
1995.03.10 |
| 申请号 |
JP19930207935 |
申请日期 |
1993.08.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHICHI HIROYASU;MITSUI YASUHIRO;KANEBORI KEIICHI;NINOMIYA TAKESHI;OKUDAIRA HIDEKAZU;IRIE TAKASHI;TAKAGUCHI MASANARI;MATSUURA YUMIKO;OYU SHIZUNORI;MIYAO MASANOBU |
| 分类号 |
G01N27/64;H01J27/24;H01J37/22;H01J37/252;H01J49/10;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/252 |
主分类号 |
G01N27/64 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
