发明名称 HIGH-FREQUENCY PLASMA GENERATOR
摘要
申请公布号 RU2030849(C1) 申请公布日期 1995.03.10
申请号 SU19925054990 申请日期 1992.03.31
申请人 TOBOLKIN ALEKSANDR S 发明人 TOBOLKIN ALEKSANDR S
分类号 H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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