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摘要
申请公布号
EP0272215(B1)
申请公布日期
1995.03.08
申请号
EP19870810742
申请日期
1987.12.11
申请人
CIBA-GEIGY AG
发明人
BANKS, CHRISTOPHER PAUL;DEMMER, CHRISTOPHER GEORGE, DR.;IRVING, EDWARD, DR.
分类号
G03F7/029;G03F7/095;G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G03F7/029
代理机构
代理人
主权项
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