发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR FORMING SILICON OXIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH0758102(A) 申请公布日期 1995.03.03
申请号 JP19930217038 申请日期 1993.08.09
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD;HITACHI LTD 发明人 ARAI HISAHIRO;SATO EIJI;NAGASAKI KEIICHI;HONMA YOSHIO;SAITO MASAYOSHI;NAKANISHI SHIGEHIKO
分类号 H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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