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发明名称 3 JUKEIDOKISEIGYOSOCHI
摘要
申请公布号 JPS5187935(A) 申请公布日期 1976.07.31
申请号 JP19750012498 申请日期 1975.01.31
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAIRA KAZUO;IHARA KOICHI;KUBO YUTAKA
分类号 G06F11/18;G06F11/00;G06F15/16;G06F15/177;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G06F11/18
代理机构 代理人
主权项
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