发明名称 TESTA ROTANTE PER IMPIANTI DI TIRAGGIO DI CRISTALLI PER L'ESECUZIONE DEL PROCESSO CZOCHRALSKI
摘要 Una testa rotante (11) per impianti di tiraggio di cristalli (1) secondo Czochralski presenta una piattaforma di riferimento 816) girevole intorno ad un'asse verticale (A-A) con un'apertura passante (25) verticale per un organo di trazione 813) avvolgibile e un gruppo di azionamento (23) per l'azionamento di un albero orizzontale (22). Su quest'albero è supportato in modo vincolato torsionalmente ma spostabile assialmente un tamburo di avvolgimento (15) con una scanalatura di avvolgimento (29) elicoidale per l'organo di trazione. Per evitare abrasione contaminazione e per una precisa guida dell'organo di trazione 813), sull'albero orizzontale (22), in una posizione distante dall'asse di rotazione verticale (A-A), è disposto un elemento di guida (13) elicoidale girevole con l'albero orizzontale con lo stesso passo della scanalatura di avvolgimento. L'elemento di guida coopera con un dado di guida (31) in modo che la parte dell'organo di trazione (13) che si allontana tangenzialmente dal tamburo di avvolgimento (15) sia guidata direttamente nell'asse di rotazione verticale (A-A). L'elemento di guida (30) elicoidale è eseguito come scanalatura di guida e il dado di guida (31) coopera con la scanalatura di guida tramite sfere circolanti.(32).
申请公布号 ITMI941793(A1) 申请公布日期 1995.02.28
申请号 IT1994MI01793 申请日期 1994.08.30
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SCHULMANN WINFRIED;THIMM FRANZ;KAISER HELMUT
分类号 C30B15/30 主分类号 C30B15/30
代理机构 代理人
主权项
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