| 发明名称 |
LASER PROJECTION DEVICE FOR SHAPING IMAGE OF INTEGRATED CIRCUIT TOPOLOGY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU2029980(C1) |
申请公布日期 |
1995.02.27 |
| 申请号 |
SU19914955377 |
申请日期 |
1991.06.25 |
| 申请人 |
TSENTRALNYJ NAUCHNO-ISSLEDOVATELSKIJ INSTITUT "ELEKTRON" |
发明人 |
BOJTSOV SERGEJ K |
| 分类号 |
G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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