发明名称 Film ultramince transparent et conducteur et procédé pour sa fabrication.
摘要 <p><P>Film ultramince transparent et conducteur comprenant un métal de transition, formé sur un substrat, avec une épaisseur de film de 1 à 200 nm. Procédé pour la fabrication de films ultraminces transparents et conducteurs, qui comprend le dépôt en phase vapeur d'au moins un métal de transition vaporisé sur un substrat dans un état excité sous vide, de manière à former un film mince dudit métal de transition.</P></p>
申请公布号 FR2708626(A1) 申请公布日期 1995.02.10
申请号 FR19940009519 申请日期 1994.08.01
申请人 DIRECTOR GENERAL AGENCY INDUSTRI 发明人 KIUCHI MASATO;CHAYAHARA AKIYOSHI
分类号 C03C17/09;C03C17/22;C04B41/50;C04B41/51;C04B41/87;C04B41/88;C08J7/06;C23C14/00;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/20;C23C14/22;G02F1/1343;H01J29/86;H01J29/88;(IPC1-7):C23C30/00;B05D5/12;C23C16/14;C23C14/14;B05D5/06 主分类号 C03C17/09
代理机构 代理人
主权项
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