发明名称 Verfahren zur Untersuchung einer Probe in einem Korpuskularstrahlgerät.
摘要
申请公布号 DE59008098(D1) 申请公布日期 1995.02.09
申请号 DE19905008098 申请日期 1990.01.04
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 BRUNNER, MATTHIAS, DR.-DIPL.-PHYS., D-8011 KIRCHHEIM, DE;LISCHKE, BURKHARD, DR.-DIPL.-ING., D-8000 MUENCHEN 82, DE
分类号 H01J37/28;H01J37/30;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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