发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0738101(A) 申请公布日期 1995.02.07
申请号 JP19930178321 申请日期 1993.07.19
申请人 SONY CORP 发明人 UMEBAYASHI HIROSHI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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