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发明名称 MECHANISM FOR TRANSFERRING OBJECT TO BE TREATED
摘要
申请公布号 JPH01258412(A) 申请公布日期 1989.10.16
申请号 JP19880085048 申请日期 1988.04.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 IWASAKI TAKEMASA;SHIMOSHA SADAO;OTANI HARUO
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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