| 摘要 |
<p>Un dispositif optique pouvant s'utiliser en microscopie à effet tunnel à balayage de photons (ASTM) ou en microscopie optique à balayage de champ proche (SNOM) est constitué par une sonde (30) formant un seul ensemble avec un bras de support en porte-à-faux (31). La sonde et le bras de support peuvent être fabriqués en matériau semiconducteur transparent semblable à celui des sondes de microscopie atomique (AFM), par exemple, composé de silicium ou de nitrure de silicium. Le bras de support sert de guide optique, afin de diriger des photons depuis et vers un circuit intégré optoélectronique (OEIC). La forme de la sonde peut être dimensionnée par des techniques d'attaque chimique en cône ou en pyramide, par exemple. Le détecteur remplit plusieurs tâches simultanées: imagerie PSTM d'une surface, commande PSTM des trois positions dimensionnelles de la pointe de la sonde au niveau d'un emplacement prédéterminé, AFM ou STM simultanés ou toute autre mesure localisée et/ou recueil ou émission de photons au niveau d'un emplacement spécifique. L'utilisation d'ondes évanescentes permet au dispositif d'avoir accès à la plage mésoscopique entre 1Å-50Å. Dans un autre mode de réalisation, l'invention permet de manipuler des particules microscopiques au moyen de la sonde. La sonde peut également servir de détecteur.</p> |
