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发明名称 SEMICONDUCTOR SENSOR CHIP, ITS MANUFACTURE, AND SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0727641(A) 申请公布日期 1995.01.31
申请号 JP19930195465 申请日期 1993.07.12
申请人 OMRON CORP 发明人 KOIKE TOMOYUKI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
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