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发明名称 METHOD FOR FORMATION OF THIN FILM AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH0726379(A) 申请公布日期 1995.01.27
申请号 JP19930194328 申请日期 1993.07.09
申请人 KOA CORP;SHINKO SEIKI CO LTD 发明人 SHISHIBA TADASHI;YOSHIMURA NOBUNARI;TSUCHIMOTO MASAHIRO;NOMA MASAO
分类号 C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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