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发明名称 PRODUCTION OF CRYSTALLINE GAAS
摘要
申请公布号 JPH0717799(A) 申请公布日期 1995.01.20
申请号 JP19930147233 申请日期 1993.06.18
申请人 NIPPON VALQUA IND LTD 发明人 MASUDA KOZO
分类号 C30B1/08;C30B29/42;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/268;H01L21/324;H01L29/205;(IPC1-7):C30B29/42 主分类号 C30B1/08
代理机构 代理人
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