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发明名称 ICP SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0718433(A) 申请公布日期 1995.01.20
申请号 JP19930161443 申请日期 1993.06.30
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 NARAI SATORU;TAKEUCHI KOICHIRO;UEDA HIROICHI
分类号 C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285;H05H1/46;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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