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发明名称 BONDING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6139528(A) 申请公布日期 1986.02.25
申请号 JP19840158753 申请日期 1984.07.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KASHIMA NORIYASU;NEMOTO TOSHIYA;CHIBA KOICHI;KANEDA KATSUHIKO
分类号 H01L21/52;H01L21/50;H01L21/60 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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