INSTRUMENT FOR MAGNETIC MEASUREMENT OF OXYGEN

摘要

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung für die Ermittlung des Sauerstoffgehaltes in einer Gasmischung bzw. Gasmatrix gemäss Oberbegriff des Patentanspruches 1. Um eine magnetische Sauerstoffmesseinrichtung der gattungsgemässen Art dahingehend weiterzubilden, dass die Justage erheblich vereinfacht wird, ist erfindungsgemäss vorgeschlagen, dass die hantelförmigen Gasvolumina, Spiegel und Kompensationsspulen auf einer Grundplatte in silizium-mikromechanischer Bauweise als zusammenhängende Baueinheit integriert ist, bzw. dass die hantelförmigen Gasvolumina, aus einer Grundplatte sowie zwei damit verbondeten Deckplatten aus fotoaktivem Glas bestehen und zusammen mit Spiegel und Kompensationsspulen als zusammenhängende Baueinheit ausgebildet ist.