发明名称 |
TUBE FOR HEAT TREATMENT OF SEMICONDUCTOR |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH11154671(A) |
申请公布日期 |
1999.06.08 |
申请号 |
JP19980257691 |
申请日期 |
1998.09.11 |
申请人 |
TOYO TANSO KK |
发明人 |
OKADA MASAKI;UKITA SHIGEYUKI |
分类号 |
H01L21/22;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/22 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|