| 主权项 |
1.一藉由弧型放电来熔化阴极而蒸发阴极物质的弧型蒸发源,包含有:一实质上为圆柱形的阴极,其轴向长度系比其直径为长;一阴极推进机构,其用来沿着该阴极的轴向来将该阴极向前推进;一阴极冷却机构,其藉由冷却剂来冷却该阴极的至少一侧表面;及一磁线圈,用来在该阴极之一表面的周围产生磁通量。2.如申请专利范围第1项之弧型蒸发源,更包含有一气体吹送机构,其用来将活性气体吹入该阴极之该蒸发表面的周围,该活性气体会与组成该阴极的物质起化学作用而产生一化合物。3.如申请专利范围第1项之弧型蒸发源,其中邻近该磁线圈的数个构件包含有非磁性物质以避免干扰该磁线圈所产生的磁通量。4.如申请专利范围第1项之弧型蒸发源,其中该磁线圈所产生的磁通量在实质上系垂直于该阴极前端的蒸发表面而延伸或从该蒸发表面而向外延伸。图式简单说明:图1为一显示根据本发明而实施的弧型蒸发源之具体例的剖面图;及图2为一显示具有一习知蒸发源之弧型离子电镀装置的具体例之剖面图。 |
