| 发明名称 |
Illumination optical apparatus and scanning exposure apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5379091(A) |
申请公布日期 |
1995.01.03 |
| 申请号 |
US19930147259 |
申请日期 |
1993.11.04 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
TANITSU OSAMU;MORI TAKASHI |
| 分类号 |
G03B27/32;G02B19/00;G03B27/54;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03B27/42 |
主分类号 |
G03B27/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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