METODO PARA FABRICAR CIRCUITOS INTEGRADOS DE SILICIURO.

摘要

SE DESCRIBE UN PROCESO DE FORMACION DE SILICIUROS DE METAL CON RESISTENCIA UNIFORME EN CIRCUITOS INTEGRADOS. SE DEPOSITA UNA CAPA DE METAL, COMO TITANIO, SOBRE UNA SUPERFICIE DE SILICE. LA CAPA DE METAL SE AISLA CON UNA CAPA DE NITRIDO DE TITANIO O DE NITRIDO DE SILICE. LA CAPA AISLANTE IMPIDE LA INTRUSION DE OXIGENO DURANTE UN PROCESO DE CALENTAMIENTO SUBSIGUIENTE. (LA INTRUSION DE OXIGENO ALCANZA INDESEABLEMENTE LA RESISTENCIA DEL SILICIURO). ADEMAS, CUANDO SE USA EL RECOCIDO TERMICO RAPIDO PARA EL CALENTAMIENTO, SE OBTIENE TIPICAMENTE LA UNIFORMIDAD MEJORADA EN EL ESPESOR DEL SILICIURO. LA CAPA AISLANTE PUEDE QUITARSE DESPUES O PUEDE RETENERSE EN ALGUNAS CIRCUNSTANCIAS PARA PROPORCIONAR INTERCONEXIONES LOCALES.