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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06350039(A) 申请公布日期 1994.12.22
申请号 JP19930133630 申请日期 1993.06.03
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 MIZUNO TATSUO
分类号 H01L21/8234;H01L27/088;(IPC1-7):H01L27/088 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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