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发明名称 METHOD FOR CONTACT-CHECK IN SEMICONDUCTOR TEST DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06347512(A) 申请公布日期 1994.12.22
申请号 JP19930166532 申请日期 1993.06.12
申请人 NEC CORP 发明人 YAKABE YOSHITOSHI
分类号 G01R31/02;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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