| 发明名称 |
PLASMA DEVICE AND ITS OPERATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06346256(A) |
申请公布日期 |
1994.12.20 |
| 申请号 |
JP19930160375 |
申请日期 |
1993.06.04 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK |
发明人 |
WATANABE MASAHIDE;KUBOTA MASAMI |
| 分类号 |
C23C14/50;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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