发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06334134(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19920140497 申请日期 1992.06.01
申请人 SEIKO INSTR INC;KUORITEI SEMICONDUCTOR INC 发明人 WATANABE HITOMI
分类号 H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/092 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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