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发明名称 MANUFACTURE OF LOW-RESISTANCE POLYCRYSTAL FILM
摘要
申请公布号 JPH06334122(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930122551 申请日期 1993.05.25
申请人 SONY CORP 发明人 OKUBO KENICHI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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