发明名称 |
INTERATOMIC FORCE MICROSCOPE AND SAMPLE OBSERVING METHOD THEREFOR |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH06323834(A) |
申请公布日期 |
1994.11.25 |
申请号 |
JP19930135342 |
申请日期 |
1993.05.13 |
申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
YAMANAKA ICHIJI;OREGU KOROSOFU;OGISO HISATO;SATO HARUMICHI;KODA TOSHIO |
分类号 |
G01B11/30;G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/24;G01Q60/26;G01Q60/32;G11B9/14;(IPC1-7):G01B11/30 |
主分类号 |
G01B11/30 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|