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发明名称 SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS551026(A) 申请公布日期 1980.01.07
申请号 JP19780073959 申请日期 1978.06.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAITOU MINORU;OOKURA AKIMITSU;OOTAKA TADASHI
分类号 H01J37/20 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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