发明名称 PLASMA TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH06318565(A) 申请公布日期 1994.11.15
申请号 JP19930128231 申请日期 1993.05.01
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 FUKAZAWA TAKAYUKI
分类号 H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
地址