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经营范围
发明名称
PLASMA TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH06318565(A)
申请公布日期
1994.11.15
申请号
JP19930128231
申请日期
1993.05.01
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
FUKAZAWA TAKAYUKI
分类号
H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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