| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR VAPOR DECOMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06302581(A) |
申请公布日期 |
1994.10.28 |
| 申请号 |
JP19930088433 |
申请日期 |
1993.04.15 |
| 申请人 |
FUJI FILM MICRO DEVICE KK;FUJI PHOTO FILM CO LTD |
发明人 |
ONDA SHINZABURO;NOZAKI KAORU;KATO NORIHIKO |
| 分类号 |
C01B33/12;C04B41/91;C23F1/12;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
C01B33/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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