| 发明名称 |
Method and apparatus for examining an object |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2273559(B) |
申请公布日期 |
1994.10.26 |
| 申请号 |
GB19930025533 |
申请日期 |
1993.12.14 |
| 申请人 |
* GERSAN ESTABLISHMENT |
发明人 |
MARTIN PHILLIP * SMITH;CHRISTOPHER MARK * WELBOURN;ROBIN WYNCLIFFE * SMITH |
| 分类号 |
G01N21/31;G01N21/65;G01N21/87;(IPC1-7):G01N21/63 |
主分类号 |
G01N21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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