| 发明名称 |
NEW TANTALUM COMPOUND, ITS PRODUCTION AND TANTALUM OXIDE FILM FORMING MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06298777(A) |
申请公布日期 |
1994.10.25 |
| 申请号 |
JP19930302755 |
申请日期 |
1993.12.02 |
| 申请人 |
JAPAN ENERGY CORP |
发明人 |
SUZUKI TOSHIYUKI;MORI HIDEYUKI;NAKAMURA KOICHI |
| 分类号 |
C07F9/00;C23C16/18;C23C16/40;(IPC1-7):C07F9/00 |
主分类号 |
C07F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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