| 发明名称 |
FINE WORK METHOD AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06297252(A) |
申请公布日期 |
1994.10.25 |
| 申请号 |
JP19930107483 |
申请日期 |
1993.04.09 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
MAESAKA AKIHIRO;HASHIMOTO SHUNICHI |
| 分类号 |
B23H9/00;B23H9/08;B82B3/00;C25F7/00;G11B9/00;G11B9/14;H01L21/306;H01L21/3063;(IPC1-7):B23H9/00 |
主分类号 |
B23H9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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