发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06283675(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930065787 申请日期 1993.03.25
申请人 SONY CORP 发明人 ITO SHINICHI
分类号 H01L21/265;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H01L27/088;H01L29/784 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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