| 发明名称 |
ANALYSIS OF CONTAMINATED MATERIAL OF NONMETAL IN SILICON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06281641(A) |
申请公布日期 |
1994.10.07 |
| 申请号 |
JP19940000345 |
申请日期 |
1994.01.07 |
| 申请人 |
DOW CORNING CORP |
发明人 |
RICHIYAADO DEIUEIN DAGATEI;RONARUDO RII HARUMU;CHIYAARUSU SUPENSAA KUIBIRA |
| 分类号 |
G01N31/00;G01N33/20;(IPC1-7):G01N31/00 |
主分类号 |
G01N31/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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