发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06283679(A) 申请公布日期 1994.10.07
申请号 JP19930069978 申请日期 1993.03.29
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIROSUE MASAHIRO
分类号 H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/092 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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