发明名称 Appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support.
摘要 L'invention concerne un appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support, lesquelles sont connectées l'une à l'autre au moyen d'un adhésif s'amollissant à la chaleur pour donner un ouvrage ayant des surfaces opposées. <BR/> Selon l'invention, il comprend une plaque supérieure (11) ayant des surfaces supérieure et inférieure opposées et des trous ouvrant à la surface inférieure, par où l'air est évacué pour attirer l'une des surfaces opposées de l'ouvrage contre la surface inférieure; une plaque inférieure (4) ayant des surfaces supérieure et inférieure opposées et des trous ouvrant à la surface supérieure, par où l'air est évacué pour attirer l'autre surface de l'ouvrage vers la surface supérieure; un réchauffeur (6 ou 13) pour amollir l'adhésif, noyé dans au moins l'une des plaques supérieure et inférieure; un bras de robot (16) pour déplacer la plaque supérieure verticalement et horizontalement; et un arbre (15) pour relier rotative la plaque supérieure au bras de robot. <BR/> L'invention s'applique notamment aux semi-conducteurs.
申请公布号 FR2703187(A1) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 FR19940002718 申请日期 1994.03.09
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 HAYASE IWAO
分类号 H01L21/304;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/463 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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