| 发明名称 |
ANALYZING SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR DEFECT AND COMPRESSING METHOD FOR ANALYSIS DATA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06275696(A) |
申请公布日期 |
1994.09.30 |
| 申请号 |
JP19930044006 |
申请日期 |
1993.03.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ISHIHARA KAZUKO;ISHIKAWA SEIJI;SHIMOSHA SADAO;NAKAZATO JUN;MATSUOKA KAZUHIKO;MIYAMOTO YOSHIYUKI;NARUSHIMA MASACHIKA;MIYAZAKI ISAO;SHIGYO YOSHIHARU;SATO MASAYUKI;OSHIMA TAKAYUKI;HASHIMOTO TAIZO |
| 分类号 |
G11C29/00;G11C29/40;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G11C29/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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