发明名称 THIN FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06275721(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930057252 申请日期 1993.03.17
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 KONDO HIDEKAZU;YAMAMOTO HIROSHI;KATAGIRI TOMOHARU;OOTA TOMOHIRO
分类号 H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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