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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06275631(A) 申请公布日期 1994.09.30
申请号 JP19930059805 申请日期 1993.03.19
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 KOBAYASHI TAKESHI
分类号 H01L21/22;H01L21/331;H01L29/73;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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