| 发明名称 |
REACTION GAS SUPPLY DEVICE AND NOZZLE IN PRECISE PROCESSING APPARATUS DUE TO RADICAL REACTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06269655(A) |
申请公布日期 |
1994.09.27 |
| 申请号 |
JP19930056086 |
申请日期 |
1993.03.16 |
| 申请人 |
NIIGATA ENG CO LTD |
发明人 |
NAGAOKA HITOSHI;HAMADA SHUJI;ICHIMURA MINORU |
| 分类号 |
B01J4/00;H01L21/301;H01L21/78;(IPC1-7):B01J4/00 |
主分类号 |
B01J4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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