| 发明名称 |
SUBSTRATE HOLDER OF APPARATUS FOR PRODUCING MAGNETIC RECORDING MEDIUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06264237(A) |
申请公布日期 |
1994.09.20 |
| 申请号 |
JP19930055765 |
申请日期 |
1993.03.16 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
TANI NORIAKI;NAKAMURA KYUZO;ISHIKAWA MICHIO;SUZUKI IKUO;HAKU CHIYUURETSU |
| 分类号 |
C23C14/50;G11B5/85;G11B5/851;H01F41/18;(IPC1-7):C23C14/50 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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