| 发明名称 |
SURFACE PROFILE MEASURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06258013(A) |
申请公布日期 |
1994.09.16 |
| 申请号 |
JP19930046982 |
申请日期 |
1993.03.08 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
YAMAMOTO KEISUKE;OGUCHI TAKAHIRO;SAKAI KUNIHIRO;KURODA AKIRA;NAKAYAMA MASARU |
| 分类号 |
G01B7/34;G11B9/00;G11B9/14;(IPC1-7):G01B7/34 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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