| 发明名称 |
METHOD FOR INSPECTING CD STAMPER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06259818(A) |
申请公布日期 |
1994.09.16 |
| 申请号 |
JP19930075355 |
申请日期 |
1993.03.09 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
SUGITA HISAAKI;FUTAMI KIYOSHI |
| 分类号 |
G01M11/00;G11B7/26;(IPC1-7):G11B7/26 |
主分类号 |
G01M11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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