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经营范围
发明名称
A coating fluid for forming an oxide coating.
摘要
申请公布号
EP0327311(B1)
申请公布日期
1994.09.14
申请号
EP19890300927
申请日期
1989.01.31
申请人
HITACHI CHEMICAL CO., LTD.
发明人
MORISHIMA, HIROYUKI YAMAZAKI WORKS OF;UCHIMURA, SHUN-ICHIRO YAMAZAKI WORKS OF
分类号
C08G79/00;C08G77/48;C08G77/58;C09D183/00;C09D183/04;C09D183/14;C09D185/00;C23C18/12;H01L21/31;H01L21/312;H01L23/29;H01L23/31;(IPC1-7):C23C18/12
主分类号
C08G79/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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