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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06256942(A) 申请公布日期 1994.09.13
申请号 JP19930046189 申请日期 1993.03.08
申请人 NEC KAGOSHIMA LTD 发明人 TAKEDA KAZUHIRO
分类号 C23C14/35;C23C14/34;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
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